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石英振蕩器
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解密一下Wintron晶體完整制造過程,漲見識(shí)啦

文章出處:http://www.baijiaschool.com.cn/責(zé)任編輯:加科晶體電子人氣:-發(fā)表時(shí)間:2019-12-13 14:56【


  晶體生產(chǎn)過程流程圖:
      
Wintron的 晶體振蕩器產(chǎn)品通過先進(jìn)且創(chuàng)新的制造和測試設(shè)備貫穿整個(gè)生產(chǎn)過程。

鋸切
切片石英晶片基本上是晶體諧振器生產(chǎn)的第一步。在切片過程中,高精度的漿液鋸一次基本上磨蝕了幾根石英材料條。石英棒的方向已確定,因此各個(gè)切片將具有所需的  頻率與溫度之間的關(guān)系。通常,一次最多可以切成6條,產(chǎn)生200至400個(gè)單獨(dú)的晶片。典型的鋸切運(yùn)行需要大約6到8個(gè)小時(shí)才能完成。
鋸/切片機(jī)

研磨

“四向”研磨機(jī)使用磨料將晶片表面研磨至目標(biāo)厚度,同時(shí)在三個(gè)階段的過程中保持平整度:首先是晶片形式,然后是切成小方塊的形式,最后是倒圓后。

使用AT切割的石英毛坯,晶圓厚度決定了頻率。精度為 0.1毫米 或更少 。

四向研磨機(jī)

標(biāo)注空白

毛坯尺寸對于晶體設(shè)計(jì)至關(guān)重要。根據(jù)晶體包裝的不同,毛坯可以倒圓或切成矩形。

在頻率溫度性能和老化方面,將毛坯的尺寸定為具有良好的表面光潔度的嚴(yán)格公差也很重要。

種子去除和圓片機(jī)

X射線
對石英晶片或毛坯進(jìn)行X射線測量,以度,分和秒為單位相對于參考晶格平面的角度。
EFG X射線機(jī)

清潔/蝕刻

他石英毛坯被蝕刻在酸性溶液中,以提高表面光潔度和減少生產(chǎn)批次的頻率傳播。

從蝕刻到密封的所有過程都在具有100級(jí)工作站和過程的1000級(jí)潔凈室中執(zhí)行。這種類型的環(huán)境被認(rèn)為對于高性能晶體生產(chǎn)的最后階段必不可少,因?yàn)轭w粒污染會(huì)極大地影響DLD(驅(qū)動(dòng)級(jí)依賴性),不良的相位噪聲,微跳動(dòng)和老化。工藝粒子激光計(jì)數(shù)器監(jiān)控環(huán)境,關(guān)鍵階段和設(shè)備,還對液態(tài)懸浮粒子進(jìn)行監(jiān)控。

蝕刻站

薄膜沉積

高真空薄膜沉積機(jī)將金屬蒸發(fā)到每個(gè)毛坯的表面上以形成電極圖案。

這種基底電鍍工藝被認(rèn)為對獲得性能良好的低時(shí)效晶體至關(guān)重要。

薄膜沉積

自動(dòng)安裝和粘合

安裝和粘合是由專門設(shè)計(jì)的機(jī)器人執(zhí)行的,這些機(jī)器人旨在以低污染和低壓力執(zhí)行其功能。

石英毛坯通過導(dǎo)電膠安裝在支撐夾具上,該導(dǎo)電膠與毛坯每一側(cè)的電極進(jìn)行電接觸。

自動(dòng)安裝和粘合

精確電鍍
在金屬蒸發(fā)到裸露電極一側(cè)的同時(shí),測量每個(gè)石英晶體的頻率,直到目標(biāo)頻率達(dá)到±1ppm以內(nèi)。
精密電鍍設(shè)備

校準(zhǔn)

校準(zhǔn)是諧振器的最后電鍍步驟。在許多方面,該過程類似于電極的沉積,所不同的是所使用的金屬更少。校準(zhǔn)的目的是將諧振器的頻率微調(diào)到指定的工作點(diǎn)。通常,石英諧振器的頻率被校準(zhǔn)為小于其目標(biāo)頻率的±1ppm。

有趣的是,就研磨和研磨操作而言,電鍍電極和校準(zhǔn)的整個(gè)過程就其對石英諧振器的影響而言是相反的。因此,結(jié)合使用石英去除和金屬沉積的過程來迭代地創(chuàng)建所需的工作頻率。

標(biāo)定設(shè)備 

封口

抽空支架的內(nèi)部并充滿惰性氮?dú)猓詸C(jī)械方式保護(hù)晶體元素,并防止電極或其他部件被氧化或受到環(huán)境溫度的影響。根據(jù)包裝的不同,使用電阻焊或縫焊的密封方法。

傳感器監(jiān)視過程環(huán)境。

然后對晶體進(jìn)行細(xì)化和全面泄漏測試,然后進(jìn)行參數(shù)測試和老化。

電阻焊

溫度和老化測試

密封后,將諧振器置于環(huán)境屏蔽中,以驗(yàn)證其在所需工作溫度范圍內(nèi)的電氣性能和頻率特性。上面顯示的石英諧振器已裝入Wintron的許多ATE系統(tǒng)之一。除了測試溫度性能外,精密諧振器還經(jīng)過加速壽命測試,其中包括超過200攝氏度的高溫烘烤。這種加速的壽命測試是用來確認(rèn)頻率漂移的預(yù)期年增長率的方法之一,通常被稱為老化。

 

測試過程

溫度測試
在預(yù)期的溫度范圍內(nèi),對晶體在溫度室內(nèi)進(jìn)行100%的頻率特性測試。

溫度測試箱

初始和最終晶體測試

測試晶體的運(yùn)動(dòng)參數(shù),并將其分類為頻率組。

在高溫下老化一段時(shí)間后,將再次測試運(yùn)動(dòng)參數(shù),以確保將參數(shù)保持在所需的工藝規(guī)格范圍內(nèi)。這是突出顯示任何過程問題的必要SPC(統(tǒng)計(jì)過程控制)點(diǎn)。

 

水晶測試儀

PCB組裝,晶體匹配和TCXO組裝

PCB板經(jīng)過焊膏篩選,元件拾取和放置以及IR回流生產(chǎn)線。

晶體與組裝的PCB相匹配。這還允許一個(gè)較窄的修整范圍,從而使振蕩器的頻率調(diào)諧變得更加容易。

表面貼裝機(jī)

最終的質(zhì)量控制和包裝
檢查晶體的腿部形成,夾層和標(biāo)記。然后由我們的OQC部門包裝并釋放晶體。

質(zhì)檢站



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